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        機電行業動態

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        KLA臺階儀P7

        發表時間:2020-07-31 16:40 作者:胤旭機電 來源:www.smalina.com 瀏覽:

        胤旭機電 >> KLA臺階儀P7 : KLA臺階儀P7 Tencor P-7為生產和研發環境提供了從幾納米到一毫米的臺階高度測量功能。該系統支持對臺階高度,粗糙度,彎曲度和應力進行2D和3D測量,以進行長達150mm的掃描而無需縫合?!?/h3>

          KLA臺階儀P7

          Tencor P-7為生產和研發環境提供了從幾納米到一毫米的臺階高度測量功能。該系統支持對臺階高度,粗糙度,彎曲度和應力進行2D和3D測量,以進行長達150mm的掃描而無需縫合。

          Tencor P-7建立在市場領先的Tencor P-17臺式手寫筆輪廓分析系統成功的基礎上。它在一個平臺上包括P-17技術的卓越測量性能,該平臺為臺式測針輪廓儀提供了極高的性價比。Tencor P-7測針輪廓儀支持2D和3D測量臺階高度,粗糙度,彎曲度和應力,以進行長達150毫米的掃描而無需縫合。

          臺階高度:納米至1000µm

          恒定力控制下的低力:0.03至50mg

          掃描樣品的整個直徑而無需縫合

          視頻:5MP高分辨率彩色攝像機

          電弧校正:消除由于筆的電弧運動引起的誤差

        KLA臺階儀P7

          軟件:易于使用的軟件界面

          生產能力:具有定序,模式識別和SECS / GEM的全自動

          臺階高度:2D和3D臺階高度

          質地:2D和3D粗糙度和波紋度

          形式:2D和3D弓形

          應力:2D和3D薄膜應力

          缺陷檢查:2D和3D缺陷表面形貌

          產業領域:

          大學,研究實驗室和研究所

          半導體和化合物半導體

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